Ein industrieller MPCVD-Reaktor, der einkristallinen Typ-IIa-Grade-D-Diamanten auf 7 HPHT-Seeds simultan synthetisiert und damit vertikal integrierte NV-Zentrum-Quantensensoren für die nächste Generation der Atemdiagnostik und darüber hinaus ermöglicht.
Mikrowellen-Plasma-CVD-Reaktor (MPCVD), entwickelt für hohen Yield und reproduzierbare Einkristall-Diamantsynthese unter anspruchsvollen Tropenbedingungen (45 °C, 90 % RH).
Halbleiter-Generator (oben montiert, servicefreundlich). WR340-Hohlleiter, 3-Stub-Auto-Tuner, > 90 % Kopplung, < 5 % reflektierte Leistung.
Basisdruck < 10⁻⁵ mbar. Betrieb 30–300 mbar. KF/CF-Flanschkombination, FFKM-Dichtungen, 3+ Sichtfenster für OES, Pyrometrie und Kamera.
7× HPHT-Seeds, 20×20 mm. Wassergekühlter Mo/W-Halter mit Seed-Pockets. Temperaturüberwachung pro Seed (Mehrkanal-Pyrometrie).
H₂ 50 slm (6N), CH₄ 2 slm (5N/6N), N₂ für NV-Dotierung, O₂ zum Ätzen, Ar als Spülgas. Bronkhorst-MFCs · EtherCAT · NanoZ-Leckdetektion.
Geschlossener Kreislauf, derated für 45 °C Umgebung. Optional gemeinsames Absorptionskühlsystem für bis zu 1 950 Reaktoren pro Anlage.
3-phasig 400 V / 50 Hz (Indien). USV für die Steuerung mit ≥ 15 min Überbrückung. Schaltschrank Rittal AX 1340 IP55.
PROFINET, MQTT, OPC-UA, RS-485. 16–24-Bit-ADC ≥ 1 Hz. Web-HMI (React + FastAPI). InfluxDB + PostgreSQL · Grafana.
Plasma-OES (H_α, C₂-Swan, CH). Mehrkanal-Pyrometrie 600–1200 °C. Laser-Interferometrie für Wachstumsrate. NanoZ-MEMS-H₂-Leckdetektion.
Ein Stickstoff-Fehlstellen-Zentrum (NV) ist ein substitutionelles N-Atom neben einer Gitter-Leerstelle mit C₃ᵥ-Symmetrie — der am besten charakterisierte Festkörper-Quantendefekt der Physik.
Nullfeld-Aufspaltung D = 2,87 GHz bei Raumtemperatur. Verschiebt sich mit Temperatur (−74 kHz/K), Druck, Verspannung und elektrischem Feld — das macht das NV-Zentrum zu einem multi-modalen Sensor.
Grüne Laseranregung pumpt den Spin in |0〉 (~80 % Polarisation). Mikrowellenresonante Übergänge nach |±1〉 reduzieren die Fluoreszenz — die Basis der ODMR.
Ein einziges NV-Ensemble misst gleichzeitig Magnetfeld, Temperatur, Druck, elektrisches Feld und (in der passenden Geometrie) biomolekulare Fingerabdrücke — alles unter Umgebungsbedingungen.
Statt im Labor jahrelang Einzel-Läufe zu fahren, bauen wir das Master-Rezept auf einer Datenbasis von 10 000–15 000 produzierenden Reaktoren — jeder mit mehreren Wachstumsläufen pro Jahr, gespeist aus dem Bestand unseres Partners Vallabhbhai Patel in Surat und Mumbai. Ein digitaler Zwilling lernt Plasma-, Gas- und Geometrie-Kopplung; unsere Inline-Messtechnik regelt das fertige Rezept dann in Millisekunden auf jedem Reaktor nach.
Der Diamant-Hub Surat/Mumbai betreibt heute hunderte HPHT- und MPCVD-Reaktoren — überwiegend ohne Inline-Diagnostik. Wir installieren in jeden ausgelieferten und in jeden nachgerüsteten Reaktor das identische Messtechnik-Paket: NanoZ-MOx-Array (H₂/CH₄/Spuren), ThermoAir-5.0-Massendurchfluss, Mehrkanal-Pyrometrie, Plasma-OES (H_α/C₂/CH), Kammer-Druck, Substrat-T. Jeder Reaktor wird damit zum Daten-Sensor — bei vollem Produktivbetrieb des Partners.
Der Bestand von Vallabhbhai Patel umfasst 10 000–15 000 produzierende Reaktoren in Surat und Mumbai. Jeder Reaktor absolviert mehrere Wachstumsläufe pro Jahr — damit fliesst eine sechsstellige Anzahl vollständig instrumentierter Wachstumsdurchläufe pro Jahr in die TSR-Cloud, jeder mit Sekunden-Auflösung über alle Sensoren und Goldstandard-Label (Raman / XRD / ODMR) am Ende jedes Laufs. Datenresidenz Schweiz, ISO 27001-konformer Pipeline-Stack. Partner-Daten bleiben Partner-Eigentum (rohe Prozessdaten); abgeleitete Modelle bleiben TSR-Eigentum.
Ein hybrides Modell aus physikalischen MPCVD-Gleichungen (Plasma-Boltzmann, Gasphasen-Kinetik, Wärmebilanz) + datengetriebener Korrektur (XGBoost / Gaussian Process / 1D-CNN auf Zeitreihen) bildet jeden Reaktor als individuellen Digitalen Zwilling ab. Modell sagt Wachstumsrate, Kristallqualität und — entscheidend — den NV-Center-Yield aus Setpoint-Trajektorien voraus, mit Konfidenzintervall pro Run.
Mit einem trainierten Digitalen Zwilling läuft die Rezept-Optimierung als Bayesian Optimization / Reinforcement Learning in silico — tausende virtuelle Läufe pro Stunde, statt einem realen Lauf pro Tag. Konvergenz auf ein NV-optimiertes Master-Rezept (gezielte [N]-Dotierung, ¹²C-Anreicherung, Vakanz-Engineering via Druck/Leistungs-Modulation) in geschätzten 8–16 Wochen — gegenüber 3–5 Jahren klassischer DoE-Iteration im Einzel-Lab.
Sobald das Master-Rezept steht, läuft es nicht als statische Tabelle, sondern als Closed-Loop-Trajektorie: NanoZ-MOx liefert ppb-genaue Gaszusammensetzung (T₉₀ < 1 s), ThermoAir-5.0 misst Massendurchfluss mit 0,5 % Genauigkeit (Auflösung im ms-Bereich), OES und Pyrometrie schließen das Plasma-/Temperatur-Bild. Der Beckhoff-PLC-Tick liegt bei 1 ms, MFC-Sollwert-Updates greifen in unter 10 ms. Jede Drift der Plasma-Chemie wird korrigiert, bevor der Kristall sie sieht — das macht das Master-Rezept reproduzierbar von Reaktor zu Reaktor.
Persönliches Arbeitstreffen — v.l.n.r.: Jayesh Savalia (Co-Owner, TSR AI NANOZ Sensors Pvt. Ltd.), Vallabhbhai Patel (Inhaber, Kira / Kiran Diamonds) und Michael Scheller (CEO, TSR Messtechnik AG) im Empfang von Kira Diamonds Pvt. Ltd. in Surat. Inhalt: Retrofit-Strategie für den Reaktor-Bestand, Daten-Sharing-Modell für den Digitalen Zwilling, Skalierungspfad SURAT-7B in der Patel-Gruppe und Vertriebskanal NV-Substrate über das Kiran-Diamonds-Netzwerk in Mumbai.
Inhaber Kira Diamonds Pvt. Ltd. (Surat, Gujarat) und Kiran Diamonds (Mumbai, Maharashtra) — eine der grössten vertikal integrierten Diamant-Manufakturen Indiens, mit Rough-Sourcing, HPHT/MPCVD-Synthese, Schleifen, Polieren und Endkunden-Vertrieb unter einem Dach.
SURAT-7B operiert in Surat, Gujarat — Make-in-India, DVA ≥ 40 %, PLI-Förderprogramm-fähig. Drastisch niedrigere CapEx und OpEx gegenüber EU/US-Wettbewerbern.
Hauseigenes ppb-Level-Gas-Monitoring (H₂, CH₄, VOC) und Wasserstoff-Leckdetektion — nur TSR hat diese vertikale Kompetenz für die MPCVD-Prozesskontrolle.
Der Fertigungspartner TSR Messtechnik AG ist über seine Schweizer und indischen Einheiten nach ISO 9001:2015 + ISO/IEC 17025:2018 zertifiziert — mit einer Schweizer Messtechnik-Tradition, die bis 1925 zurückreicht, und Kalibrier-Rückführbarkeit zur NASA-/CERN-/Roche-/Novartis-Kundenbasis.
Einkristall-Diamantproben · NV-Grade-Platten · OEM-Langzeit-Lieferverträge · gemeinsame Forschungskooperationen.
SURAT-7B-Reaktor-Spezifikationen, NV-Physik, Prozessrezepte und das integrierte NANOZ-NV-Kontroll-Patent.